真空碳管爐是一種通過燒結(jié)使粉末壓坯獲得所需物理力學(xué)性能和微觀結(jié)構(gòu)的設(shè)備。燒結(jié)爐用于干燥硅片上的漿料，去除漿料中的有機(jī)成分，完成鋁背場和柵線燒結(jié)。為了確保粉末壓坯燒結(jié)過程中脫蠟(潤滑劑或成型劑)、還原、合金化、結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)變等的順利進(jìn)行，燒結(jié)過程中需要控制燒結(jié)溫度、保護(hù)氣氛、壓坯運(yùn)輸方式、加熱和冷卻速度等。
真空碳管爐的操作使用方法如下：
一、熔爐操作
1、檢查冷卻水是否接通；
2、接通氣源，調(diào)節(jié)流量，切換到氫氣保護(hù)加熱爐；
3、調(diào)整紅外測溫探頭的位置，使其與測溫孔對(duì)齊；
4、按下控制柜的逆變器操作按鈕，逆變器通電運(yùn)行，按下逆變器停機(jī)按鈕，逆變器停機(jī)；
5、按下碳管爐頭上的推船操作按鈕，減速器和電磁離合器通電，螺旋槳開始工作。當(dāng)電動(dòng)推桿運(yùn)行到右行程開關(guān)時(shí)，電磁離合器斷電，推艇完成；如果電磁離合器無法斷開，左行駛開關(guān)將斷開推船電機(jī)的電源。
二、電氣操作
1、檢查電氣接線圖是否正確；
2、電位計(jì)逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)至零；
3、打開總電源開關(guān)；
4、檢查輸入電壓是否正常；
5、轉(zhuǎn)動(dòng)移相觸發(fā)器上的電源開關(guān)，按下操作按鈕，慢慢轉(zhuǎn)動(dòng)旋鈕，開始加熱；
6、關(guān)閉溫控儀電源開關(guān)，檢查手動(dòng)溫升；
7、當(dāng)手動(dòng)將溫度升高到一定值時(shí)，電位計(jì)將順時(shí)針旋轉(zhuǎn)至零，然后將手動(dòng)按鈕旋轉(zhuǎn)至自動(dòng)。電位器將緩慢瞬時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)，使電流和電壓達(dá)到一定值，然后可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)升溫；
8、溫控儀表的操作必須嚴(yán)格遵守儀表操作手冊。
